随着计算机技术的发展开始迅速发展，于上世纪的七十年代光谱仪器几乎100%地采用计算机控制，这不仅提高了分析精度和速度，而且对分析结果的数据处理和分析过程实现自动化控制。
光谱分析仪的常见指标有哪些呢？
1、灵敏度
灵敏度是指仪表或装置在到达稳态后，输出增量与输入增量之比，即K=△Y/△X。
式中 K代表灵教度，△Y代表输出变量y的增量，△X代表输入变量x的增量。
对于带有指针和标度盘的仪表，灵敏度亦可直观地理解为单位输入变量所引起的指针偏转角度或位移盈。
当仪表的“输出一输入”关系为线性时，其灵放度K为一常数。反之，当仪表具有非线性特性时，其灵敏度将随着输入变量的变化而改变。
2、线性度
一般说来，总是希望侧贴式液位开关具有线性特性，亦即其特性曲线最好为直线。但是，在对仪表进行校准时人们常常发现，那些理论上应具有线性特性的仪表，由于各种因素的影响，其实际特性曲线往往偏离了理论上的规定特性曲线（直线）。在检测技术中，采用线性度这一概念来描述仪表的校准曲线与规定直线之问的吻合程度。校准曲线与规定直线之间最大偏差的绝对值称为线性度误差，它表征线性度的大小。
3、回差
在外界条件不变的情况下，当输入变量上升（从小增大）和下降（从大减小）时，仪表对于同一输入所给出的两相应输出值不相等，二者（在全行程范围内）的最大差值即为回差，通常以输出量程的百分数表示回差是由于仪表内有吸收能量的元件（如弹性元件、磁化元件等）、机械结构中有间隙以及运动系统的摩擦等原因所造成的。
4、漂移
所谓漂移，指的是在一段时间内，仪表的输入一输出关系所出现的非所期望的逐渐变化。
这种变化不是由于外界影响而产生的，通常是由于在线微波水分仪弹性元件的时效、电子元件的老化等原因所造成的。
在规定的参比工作条件下，对一个恒定的输入在规定时间内的输出变化，称为“点漂”。发生在仪表测量范围下限值七的点漂，称为始点漂移。当下限值为零时的始点漂移又称为零点漂移，简称零漂。
