虽说直读光谱仪的检测准确度很高，但在测定样品中元素含量时还是会存在所得结果与真实值含量存在偏差的可能，我们也称之为误差。这个误差我们大致可以分为两类，分别是系统误差（恒定误差）和随机误差（偶然误差）。
系统误差是指在一定试验条件下由某个或某些因素按照某一确定的规律起作用而形成的误差。它决定了测试结果的准确度，系统误差的大小和符号在同一试验中是恒定的，改变试验条件时按照确定的规律变化。重复测定不能发现和减少系统误差，只有改变试验条件才能发现系统误差。测定结果与真实值偏离的程度越小，测定结果越正确，系统误差就越小。一旦发现有系统误差，一定要找出原因，设法避免和校正。
随机误差是具有随机性的误差，出现这种现象完全是一系列偶然因素（如测定环境的温度、湿度、振动、灰尘、油污、老化和仪器性能等）微小随机波动造成的。如果对样品只进行一次测定，其测定值可能比真值大也可能比真值小。它的出现决定了测定结果的精密度。随机误差是一种无规律性的误差，在分析过程中总是存在的。其性质是有时大，有时小，有时正，有时负，而产生的原因又无法控制。所以只有通过多次测量并取平均值，才可以减小随机误差。
具体来说，上述两种误差都是由人、机、料、法、环这五个环节带来的。只有正确分析这五种因素才能减小随机误差和消除系统误差。
